外延是什么? 外延工艺在英文中通常被称为 "Epitaxy"。这个词源自希腊语的 "epi"(意为“上面”)和 "taxis"(意为“排列”)。顾名思义,即在某物体的上面整齐排列。外延工艺就是在单晶衬 …
2.1 关于外延生长技术 外延生长技术之所以重要,很大程度上在于外延晶层制备的过程中,层中的杂质浓度可以极为方便地通过控制反应气流中的杂质含量加以调节,而不受衬底中杂质种类与 …
2022年9月17日 · 知乎,中文互联网高质量的问答社区和创作者聚集的原创内容平台,于 2011 年 1 月正式上线,以「让人们更好的分享知识、经验和见解,找到自己的解答」为品牌使命。知乎 …
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碳化硅功率器件相较于传统的硅功率器件的制作工艺有所不同,碳化硅功率器件不能直接在其单晶材料上制造,必须要在碳化硅单晶衬底上制作出外延层,最后在外延层上制作功率器件。本文 …
答:有条件的情况下可以外延,万一从卫生间门槛位发生水平渗漏,没有外延防水层,而刚好这个区域楼板混凝土有裂缝,就会渗到楼下天花,引发邻里纠纷。这就好像在卫生间门口放一块地 …
由于新生单晶层按衬底晶相延伸生长,从而被称之为外延层(厚度通常为几微米,以硅为例:硅外延生长其意义是在具有一定晶向的硅单晶衬底上生长一层具有和衬底相同晶向的电阻率与厚度 …
2024年3月8日 · 外延层均匀性:外延层的厚度和掺杂均匀性对器件的性能有显著影响,需要精确控制。 衬底平整度:衬底的平整度直接影响外延层生长的质量和均匀性。 5. 适当的晶体取向. …