微机电系统(MEMS)也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。MEMS传感器是MEMS技术的一个应用，它们是利用微电子和微机械加工技术制造出来的 ...